Показаны конференции за последние 3 года
- Май 2023
Мокеровские чтения 14-я Международная научно-практическая конференция по физике и технологии наногетероструктурной СВЧ-электроники
Тема доклада:
Низкотемпературное осаждение тонких пленок Al2O3 методом ALD: морфология и электрические характеристики
- Май 2022
Мокеровские чтения. 13-я Международная научно-практическая конференция по физике и технологии наногетероструктурной СВЧ-электроники
Тема доклада:
Исследование электрофизических параметров гетероструктур 3С-SiC/Si