Показаны конференции за последние 3 года
- Сентябрь 2025
Российский форум «Микроэлектроника 2025»
Тема доклада:
А. Лахмытко, В. Пашенцев Оборудование для плазменной очистки компонентов микроэлектроники / Электроника НТБ, спецвыпуск, 2025, С.186-190.
- Май 2024
Электронное машиностроение - 2024, I научно-техническая конференция Союзного государства
Тема доклада:
Технологическая платформа физико-термических процессов и ее реализация в процессах микроэлектроники и сборочных производств
- Октябрь 2023
НОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ: Перспективные технологии получения ма-териалов и методы их исследования: Сборник тезисов докладов 21-й Международной школы-конференции имени Б.А. Калина для молодых ученых и специалистов.
Тема доклада:
Метод нанесения двухслойных анти-фрикционных покрытий на рабочие поверхности внутри коаксиального магнетрона. Стр. 166